Khí có độ tinh khiết cao Nitơ Triflorua (NF3)
Thông tin cơ bản
| CAS | 7783-54-2 |
| EC | 232-007-1 |
| UN | 2451 |
Vật liệu này là gì?
Nitơ triflorua (NF3) là chất khí không màu, không mùi ở nhiệt độ phòng và áp suất khí quyển. Nó có thể được hóa lỏng dưới áp suất vừa phải. NF3 ổn định trong điều kiện bình thường và không dễ bị phân hủy. Tuy nhiên, nó có thể bị phân hủy khi tiếp xúc với nhiệt độ cao hoặc khi có chất xúc tác nhất định. NF3 có tiềm năng nóng lên toàn cầu (GWP) cao khi thải vào khí quyển.
Sử dụng vật liệu này ở đâu?
Chất làm sạch trong ngành công nghiệp điện tử: NF3 được sử dụng rộng rãi làm chất làm sạch để loại bỏ các chất gây ô nhiễm còn sót lại, chẳng hạn như oxit, khỏi bề mặt chất bán dẫn, tấm hiển thị plasma (PDP) và các linh kiện điện tử khác. Nó có thể làm sạch các bề mặt này một cách hiệu quả mà không làm hỏng chúng.
Khí ăn mòn trong chế tạo chất bán dẫn: NF3 được sử dụng làm khí ăn mòn trong quá trình sản xuất chất bán dẫn. Nó đặc biệt hiệu quả trong việc khắc silicon dioxide (SiO2) và silicon nitride (Si3N4), là những vật liệu phổ biến được sử dụng trong chế tạo mạch tích hợp.
Sản xuất các hợp chất flo có độ tinh khiết cao: NF3 là nguồn flo có giá trị để sản xuất các hợp chất chứa flo khác nhau. Nó được sử dụng làm tiền chất trong sản xuất fluoropolyme, fluorocarbon và các hóa chất đặc biệt.
Tạo plasma trong sản xuất màn hình phẳng: NF3 được sử dụng cùng với các loại khí khác để tạo ra plasma trong sản xuất màn hình phẳng, như màn hình tinh thể lỏng (LCD) và PDP. Plasma rất cần thiết trong quá trình lắng đọng và ăn mòn trong quá trình chế tạo bảng điều khiển.
Lưu ý rằng các ứng dụng và quy định cụ thể về việc sử dụng vật liệu/sản phẩm này có thể khác nhau tùy theo quốc gia, ngành và mục đích. Luôn tuân theo các nguyên tắc an toàn và tham khảo ý kiến chuyên gia trước khi sử dụng vật liệu/sản phẩm này trong bất kỳ ứng dụng nào.
